工藝流程的設(shè)計生產(chǎn)10%～12%H2SiF6溶液時，用簡單的氣體洗滌器就能獲得較高的收率，如需獲得較高濃度的氟硅酸，以建幾個串聯(lián)的洗滌器為宜。參照有關(guān)資料<1，2，4>和詳細(xì)的熱量衡算、物料衡算，最終確定下述工藝流程。通過吸氟風(fēng)機(jī)從混合機(jī)及化成皮帶抽出含氟尾氣，進(jìn)入撥水輪吸氟室，用初始濃度為15%～18%的氟硅酸溶液進(jìn)行循環(huán)吸收。當(dāng)濃度達(dá)到24%后，經(jīng)過濾放入成品槽。從撥水輪吸氟室出來的氣體，經(jīng)過并流噴射塔，用初始濃度為8%～10%的氟硅酸溶液進(jìn)行循環(huán)吸收，部分吸收液泵送至撥水輪吸氟室。為了降低循環(huán)液溫度及硅膠量，循環(huán)液從并流噴射塔放入1沉降池沉降冷卻。 


并流噴射塔出來的氣體，從旋流板塔中部切向進(jìn)入，在此進(jìn)行兩段吸收及除沫。第一段用6%以下的氟硅酸溶液進(jìn)行吸收，第二段用補(bǔ)加清水吸收。循環(huán)液從塔底流入2沉降池沉降、冷卻。部分循環(huán)液泵入并流噴射塔。廢氣經(jīng)吸氟風(fēng)機(jī)、尾氣煙囪放空。從1、2沉降池按比例放出一部分溶液至混酸池配成一定濃度的氟硅酸溶液，泵送至氟硅酸鈉工段。 


設(shè)備的選擇及防腐處理設(shè)備的選擇第一級吸收，應(yīng)充分考慮氣體中析出的硅膠及溫度較高兩大因素，又加之需利用原有設(shè)備，故選擇撥水輪吸氟室。第二級吸收，選擇吸收效率高、操作阻力小、結(jié)構(gòu)簡單、不易被硅膠堵塞的并流噴射塔。 


其噴頭經(jīng)特殊處理。第三級吸收，溫度相對較低，硅膠量較少，但要求單塔吸收效率高。因此，選擇旋流板塔。旋流板塔分為一段吸收（吸收液為氟硅酸溶液），二段吸收（吸收液為水），除沫段。循環(huán)泵選用離心泵。吸氟風(fēng)機(jī)選用葉輪式離心風(fēng)機(jī)。 


設(shè)備參數(shù)的確定利用物料衡算、熱量衡算得到的數(shù)據(jù)，參照有關(guān)資料<3、4>，確定了以下主要設(shè)備參數(shù)。防腐處理據(jù)資料<1>介紹，在溫度低于93℃時，可選用鋼主要設(shè)備參數(shù)序號設(shè)備名稱規(guī)格型號主要參數(shù)1撥水輪吸氟室á3000mm×3500mm撥水輪2組，轉(zhuǎn)速450r/min2并流噴射塔á900mm/á2800mm×8500mm吸收段H=3620mm3旋流板塔á1400mm/á2800mm×13660mm塔板N=5，旋流片24片，傾角23°41循環(huán)泵Q=30m3/hP=294kPa，轉(zhuǎn)速960r/min52循環(huán)泵Q=60m3/hP=490kPa，轉(zhuǎn)速960r/min6吸氟風(fēng)機(jī)Q=10000m3/h真空度5000Pa，轉(zhuǎn)速960r/min襯膠、增強(qiáng)聚酯三氟乙烯、環(huán)氧樹酯，Hastily合金、Money合金、316L.綜合考慮設(shè)備投資及加工能力，選擇下述防腐方案。氣體及液體管道全部采用復(fù)合管道。撥水輪吸氟室采用全玻璃鋼殼體，撥水輪為橡膠，撥水輪軸襯膠。并流噴射塔采用鋼外殼，內(nèi)襯5布6膠玻璃鋼。旋流板塔采用下塔體鋼外殼內(nèi)襯玻璃鋼。塔節(jié)為硬PVC，塔板為鋼襯膠。泵及風(fēng)機(jī)為內(nèi)襯橡膠。閥門選用酚醛玻璃鋼球閥。沉降池采用混凝土內(nèi)襯軟聚四氟乙烯。 


裝置運(yùn)行效果及問題探討（1）該裝置已于2000年7月正式投產(chǎn)，產(chǎn)品濃度穩(wěn)定在24%以上，外觀清亮透明。系統(tǒng)壓降小于4000Pa.對混化操作無不良影響。排空廢氣含氟量在0.10g/m3（干）以下。 


（2）運(yùn)行效益年產(chǎn)值按3000元/噸100%H2SiF6，總產(chǎn)率0.23%計：0.3×150000×0.23%=103.5萬元?？鄢べY、折舊、電耗、稅收、維修費(fèi)、機(jī)物料和其它費(fèi)用，年綜合效益約38萬元。 


（3）問題討論1由于各循環(huán)液的濃度隨時間變化，各級單級吸收率也是一個變量。因此，應(yīng)制定嚴(yán)格的操作規(guī)程，合理調(diào)節(jié)補(bǔ)加水量，保持總吸收率在99%以上。o本裝置對過濾后的濾渣未進(jìn)行處理。今后應(yīng)進(jìn)一步開發(fā)，綜合利用硅膠，使污染物達(dá)到零排放。